纹影成像原理作为现代光刻技术中绕不开的基石,其发展历程见证着人类从模拟到数字、从简单到精密的跨越。在任何光刻工艺中,无论是半导体制造还是精密光学仪器制造,核心都在于如何在纳米级别的空间上精确复制图形,而纹影技术正是实现这一微观世界“描边”的关键手段。

纹影成像原理